启迪培育的“光刻机第一股”华卓精科过会，与清华共享专利打印

发布时间：2021-09-18来源：启迪之星

项目：华卓精科 

星迹： 

l2012年，入驻清华科技园启迪之星

l2015年，荣获清华科技园钻石企业

l2016年，获国家高新企业资质认定

l2017年，完成首次股权激励计划

l2019年，获北京市科学技术奖一等奖

l2020年，上榜北京“专精特新”中小企业名单

近日，启迪之星培育企业——北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科“）于科创板成功过会。本轮IPO，华卓精科计划募资7.35亿元。

华卓精科长期专注于纳米级超精密测控技术，是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商。公司以光刻机双工件台这一超精密机械领域的尖端产品为核心，并以该产品的超精密测控技术为基础，开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品，以及精密运动系统、隔振器和静电卡盘等部件衍生产品，应用领域覆盖集成电路制造、超精密制造、光学、医疗、3C制造等行业。

华卓精科成立于2012年，以超精密测控技术为基础，研究、开发以及生产超精密测控设备部件、超精密测控设备整机并提供相关技术开发服务，其中超精密测控设备部件产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘和隔振器等，整机产品包括晶圆级键合设备、激光退火设备等。应用领域覆盖集成电路制造、超精密制造、光学、医疗、3C制造等行业。

股权结构方面，朱煜为华卓精科董事、核心技术人员、首席科学家，朱煜实际控制公司股份合计54.23%。朱煜为华卓精科控股股东、实际控制人。1965年出生的朱煜2001年毕业于中国矿业大学，博士学历；2004年10月至今任清华大学教授。曾在北方华创独董，目前兼任芯源微独董等职务。

虽然被誉为A股“光刻机第一股”，但华卓精科并不能直接生产光刻机整机，其主要产品为光刻机双工件台、超精密测控装备及关键零部件等，而工件台、投影物镜和光源是光刻机的三大核心子系统，其中工件台成本占到整个光刻机成本的10%-20%。

业绩方面，2018年-2020年，华卓精科营收分别为8570.92万元、1.21亿元和1.52亿元；净利润分别为1512.36万元、2087.24万元和1242.83万元。华卓精科表示，报告期内，公司的晶圆级键合设备、激光退火设备和光刻机双工件台处于产品商业化初期，客户相对较少，尚未形成规模化产品销售，导致公司整体销售规模较小，销售结构尚未稳定，存在较大的变动。

冲刺科创板之前，华卓精科曾于2015年在新三板挂牌，并于2019年2月摘牌。华卓精科本次拟募集资金约7.35亿元，将用于半导体装备关键零部件研发制造项目、超精密测控产品长三角创新与研发中心建设、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发项目等。